苏州友言机电工程有限公司

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    池州1000级洁净室

    author:苏州友言机电工程有限公司

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    time:2019-10-13 12:40:24

    有具体要求时,应按设计要求进行。无具体要求时,应根据洁净度级别的高低按表3.3.7的规定进行。具体检査试验方法见附录三。表3.37漏风检查方法和评定标准法净度风管部位「检查方法漏风指标任意级另送、回风支管漏光法无漏光低于1000级送、回风管漏光法无漏光1000级到低于100级送、回风总管和支干管漏风法等于或高于100级送、回风总管和支干管漏风法第3.3.8条擦拭净化空调系统内表面应采用不易掉纤维的材料。第3.3.9条保温层外表面应平整、密封、无胀裂和松弛现象。洁净室内的风管有保温要求时,保温层外应做金属保护壳。保护壳的外表面应光滑不积尘,便于擦拭,接缝必须密封。保温施工时不得在风管壁上开孔和上螺钉,不得破坏系统的密闭性。

    风阀和清扫孔的保温措施不应妨碍阀和门的开启。第3.3.10条高效过滤器送风口尺寸必须符合设计要求。安装前应清洗干净。需在洁净室內安装和更换高效过滤器的送风口风口翻边和吊顶板之间的接缝应加密封垫。在技术夹层内安装和更换高效过滤器的风口安装前应配合土建施工预埋短管短管和吊顶板之间如有裂缝必须封堵好。详见图3.3.10风口表面涂层破损的不得安裝。风口安装完毕应随即和风管连接好开口端用塑料薄膜和胶带密封。

    无尘室(Clean Room),亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度,从而达到适当的微粒洁净度级别。无尘室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。
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    无尘室概述

    无尘室中不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

    无尘室最主要之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造,此空间我们称之为无尘室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。


    无尘室洁净室 (1).png

    每立方米将大于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。


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